Maßgeschneiderter Objektträger aus ITO-Glas für das Labor
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Leitfähiges beschichtetes ITO-Glas wird hergestellt, indem eine Schicht aus Siliziumdioxid (SiO2) und Indiumzinnoxid (allgemein bekannt als ITO) durch Magnetron-Sputtering-Technologie auf einem Glassubstrat unter vollständig vakuumierten Bedingungen verteilt wird, wodurch die beschichtete Oberfläche leitfähig wird. ITO ist eine Metallverbindung mit guter Transparenz und leitfähige Eigenschaften.
Technische Daten
Dicke des ITO-Glases | 0,4 mm, 0,5 mm, 0,55 mm, 0,7 mm, 1 mm, 1,1 mm, 2 mm, 3 mm, 4 mm | ||||||||
Widerstand | 3-5Ω | 7-10Ω | 12-18Ω | 20-30Ω | 30-50Ω | 50-80Ω | 60–120 Ω | 100–200 Ω | 200–500 Ω |
Beschichtungsdicke | 2000–2200 Å | 1600–1700 Å | 1200–1300 Å | 650–750 Å | 350–450 Å | 200–300 Å | 150–250 Å | 100–150 Å | 30–100 Å |
Glasbeständigkeit | |||
Widerstandstyp | geringer Widerstand | normaler Widerstand | Hohe Resistenz |
Definition | <60Ω | 60–150 Ω | 150–500 Ω |
Anwendung | Hochbeständiges Glas wird im Allgemeinen zum elektrostatischen Schutz und zur Herstellung von Touchscreens verwendet | Gewöhnliches Widerstandsglas wird im Allgemeinen für TN-Flüssigkristallanzeigen und elektronische Entstörungssysteme (EMI-Abschirmung) verwendet. | Glas mit niedrigem Widerstand wird im Allgemeinen in STN-Flüssigkristallanzeigen und transparenten Leiterplatten verwendet |
Funktionstest und Zuverlässigkeitstest | |
Toleranz | ±0,2 mm |
Verzug | Dicke<0,55 mm, Verzug ≤ 0,15 % Dicke>0,7 mm, Verzug ≤ 0,15 % |
ZT vertikal | ≤1° |
Härte | >7H |
Beschichtungs-Abriebtest | 0000#Stahlwolle mit 1000gf,6000 Zyklen, 40 Zyklen/Min |
Korrosionsschutztest (Salzsprühtest) | NaCL-Konzentration 5 %: Temperatur: 35 °C Versuchszeit: 5 Minuten Widerstandsänderung ≤ 10 % |
Feuchtigkeitsbeständigkeitstest | 60℃,90 % relative Luftfeuchtigkeit,48 Stunden Widerstandsänderung ≤ 10 % |
Säurebeständigkeitstest | HCL-Konzentration: 6 %, Temperatur: 35 °C Versuchszeit: 5 Minuten Widerstandsänderung ≤ 10 % |
Alkalibeständigkeitstest | NaOH-Konzentration: 10 %, Temperatur: 60 °C Versuchszeit: 5 Minuten Widerstandsänderung ≤ 10 % |
Thermische Stabilität | Temperatur: 300 °C, Aufheizzeit: 30 Minuten, Widerstandsänderung ≤ 300 %. |
wird bearbeitet
Si02-Schicht:
(1) Die Rolle der SiO2-Schicht:
Der Hauptzweck besteht darin, zu verhindern, dass die Metallionen im Natron-Kalzium-Substrat in die ITO-Schicht diffundieren.Es beeinflusst die Leitfähigkeit der ITO-Schicht.
(2) Filmdicke der SiO2-Schicht:
Die Standardfilmdicke beträgt im Allgemeinen 250 ± 50 Å
(3) Weitere Komponenten in der SiO2-Schicht:
Um die Durchlässigkeit von ITO-Glas zu verbessern, wird SiO2 üblicherweise mit einem bestimmten Anteil SiN4 dotiert.